Strömungsmodule in kompakter Bauweise lassen sich selbst in kleine Einbauräume von Messeinheiten integrieren (Grössenordnung: 50 x 40 x 20 mm3) und sorgen dort für eine reaktionsschnelle und kontinuierliche Gasflussüberwachung.
Bestimmte Ausführungsformen, sogenannte linearisierte Massendurchflussmodule, stehen jetzt gebrauchsfertig zur Verfügung, so dass sie sich komfortabel in die jeweilige Anwendung implementieren lassen. Eingesetzt werden sie vor allem in der Gasversorgung, in Dosiersystemen, in Analysegeräten und in Verteilersystemen. Aber auch in der Prozesssteuerung, zum Beispiel unter Schutzatmosphärebedingungen im Bereich von niedrigen Strömungsgeschwindigkeiten, finden solche Module Anwendung.
Besonders gut eignen sie sich ausserdem für die Integration in medizintechnische Geräte. In der Umwelttechnik können sie in Messegeräten für die Gasanalyse und für kontinuierliche Messungen von Emissionen eingesetzt werden.
Mit einer richtungsunabhängigen kalorimetrischen Messung schaffen solche Module eine schnelle, kontinuierliche Gasflussüberwachung mit einer Reaktionszeit im Bereich unter 20 Millisekunden. Die Reproduzierbarkeit bewegt sich bei Modulen auf dem Stand der Technik um 0,2 Prozent und die Genauigkeit beispielsweise bei 2 Prozent f.s. („full scale“).
Massendurchflussmodule von dieser Art sind heute bevorzugt bereits ab Werk linearisiert und in mehreren Ausführungen für die unterschiedlichen Volumenströme erhältlich (z.B. +/-50 sccm, +/-200 sccm und +/-1000 sccm).
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